Геллер, И. Х., & Подмарьков, А. (1975). Технология производства полупроводниковых элементов: (Конспект лекций). МЭИ.
Цитирование в стиле Чикаго (17-е изд.)Геллер, Исаак Хаимович, и А.Н Подмарьков. Технология производства полупроводниковых элементов: (Конспект лекций). Москва: МЭИ, 1975.
Цитирование MLA (8-е изд.)Геллер, Исаак Хаимович, и А.Н Подмарьков. Технология производства полупроводниковых элементов: (Конспект лекций). МЭИ, 1975.
Предупреждение: эти цитированмия не могут быть всегда правильны на 100%.