Геллер, И. Х., & Подмарьков, А. (1975). Технология производства полупроводниковых элементов: (Конспект лекций). МЭИ.
Chicago Style (17th ed.) CitationГеллер, Исаак Хаимович, and А.Н Подмарьков. Технология производства полупроводниковых элементов: (Конспект лекций). Москва: МЭИ, 1975.
MLA (8th ed.) CitationГеллер, Исаак Хаимович, and А.Н Подмарьков. Технология производства полупроводниковых элементов: (Конспект лекций). МЭИ, 1975.
Warning: These citations may not always be 100% accurate.