Барил, М. А., & Самойликов, В. К. (1978). Газовые системы оборудования производства полупроводниковых приборов и интегральных схем. Энергия.
Style de citation Chicago (17e éd.)Барил, Михаил Абрамович, et Вячеслав Константинович Самойликов. Газовые системы оборудования производства полупроводниковых приборов и интегральных схем. Москва: Энергия, 1978.
Style de citation MLA (8e éd.)Барил, Михаил Абрамович, et Вячеслав Константинович Самойликов. Газовые системы оборудования производства полупроводниковых приборов и интегральных схем. Энергия, 1978.
Attention : ces citations peuvent ne pas être correctes à 100%.