Барил, М. А., & Самойликов, В. К. (1978). Газовые системы оборудования производства полупроводниковых приборов и интегральных схем. Энергия.
Chicago-Zitierstil (17. Ausg.)Барил, Михаил Абрамович, und Вячеслав Константинович Самойликов. Газовые системы оборудования производства полупроводниковых приборов и интегральных схем. Москва: Энергия, 1978.
MLA-Zitierstil (8. Ausg.)Барил, Михаил Абрамович, und Вячеслав Константинович Самойликов. Газовые системы оборудования производства полупроводниковых приборов и интегральных схем. Энергия, 1978.
Achtung: Diese Zitate sind unter Umständen nicht zu 100% korrekt.