Барил, М. А., & Самойликов, В. К. (1978). Газовые системы оборудования производства полупроводниковых приборов и интегральных схем. Энергия.
Չիկագոյի ոճի (17րդ խմբ.) մեջբերումБарил, Михаил Абрамович, and Вячеслав Константинович Самойликов. Газовые системы оборудования производства полупроводниковых приборов и интегральных схем. Москва: Энергия, 1978.
MLA (8րդ խմբ.) ՄեջբերումБарил, Михаил Абрамович, and Вячеслав Константинович Самойликов. Газовые системы оборудования производства полупроводниковых приборов и интегральных схем. Энергия, 1978.
Զգուշացում. այս մեջբերումները միշտ չէ, որ կարող են 100% ճշգրիտ լինել.