Корзо, В. Ф., & Черняев, В. Н. (1977). Диэлектрические пленки в микроэлектронике. Энергия.
Chicago Style (17th ed.) CitationКорзо, Виктор Федорович, and Владимир Николаевич Черняев. Диэлектрические пленки в микроэлектронике. Москва: Энергия, 1977.
MLA (8th ed.) CitationКорзо, Виктор Федорович, and Владимир Николаевич Черняев. Диэлектрические пленки в микроэлектронике. Энергия, 1977.
Warning: These citations may not always be 100% accurate.