Физические основы субмикронной литографии в микроэлектронике /

Պահպանված է:
Մատենագիտական մանրամասներ
Հիմնական հեղինակ: Валиев, Камиль Ахметович
Այլ հեղինակներ: Раков, Александр Васильевич
Ձևաչափ: Գիրք
Լեզու:Russian
Հրապարակվել է: Москва : Радио и связь, 1984.
Խորագրեր:
Машиностроение
Ցուցիչներ: Ավելացրեք ցուցիչ
Չկան պիտակներ, Եղեք առաջինը, ով նշում է այս գրառումը!
LEADER 00829nam a22002297a 4500
001 000201950
003 AM-YeHGA
005 20240129125647.0
008 990614s1984 ru ||||| |||| 00| 0 rus d
040 |a AM-YEHGA  |c AM-YeHGA 
041 1 |a rus 
100 1 |a Валиев, Камиль Ахметович 
245 1 0 |a Физические основы субмикронной литографии в микроэлектронике /  |c К.А. Валиев, А.В. Раков. 
260 |a Москва :  |b Радио и связь,  |c 1984. 
300 |a 350 с. :  |b ил. 32, табл. 27. 
504 |a Библ. 224 назв. 
650 1 4 |a Машиностроение 
700 1 |a Раков, Александр Васильевич 
942 |c BK 
999 |c 71020 
952 |o PII/528205  |p FL0175787 
952 |o PII/528913  |p FL0173963 

Նմանատիպ նյութեր