Физические основы микротехнологии /

Պահպանված է:
Մատենագիտական մանրամասներ
Հիմնական հեղինակ: Броудай, И.
Այլ հեղինակներ: Мерей, Дж, Володин, В.А (Թարգմանիչ, пер.), Першенков, В.С (Թարգմանիչ, пер.), Шальнов, А.В (Խմբագիր, ред.)
Ձևաչափ: Գիրք
Լեզու:Russian
Հրապարակվել է: Москва : Мир, 1985.
Խորագրեր:
Радиотехника. Электроника
Ցուցիչներ: Ավելացրեք ցուցիչ
Չկան պիտակներ, Եղեք առաջինը, ով նշում է այս գրառումը!
LEADER 01122nam a2200277 a 4500
001 000201898
003 AM-YeHGA
005 20240222153441.0
008 990606s1985 ru |||||r|||||||||0|rus|d
020 |c 2.60 
040 |a AM-YEHGA  |c AM-YeHGA 
041 0 |a rus 
100 1 |a Броудай, И. 
245 1 0 |a Физические основы микротехнологии /  |c И. Броудай, Дж. Мерей ; Пер. с англ. В.А. Володина, В.С. Першенкова и др. ; Под ред. А.В. Шальнова. 
260 |a Москва :  |b Мир,  |c 1985. 
300 |a 496 с. ;  |c ил. 
534 |p Оригинал на англ.:  |t The Physics of Microfabrication /  |a Ivor Brodie, Julius J. Muray-  |c New York : Plenum Press : 1982 
650 1 4 |a Радиотехника. Электроника 
700 1 |a Мерей, Дж. 
700 1 |a Володин, В.А.  |e пер.  |4 trl 
700 1 |a Першенков, В.С.  |e пер.  |4 trl 
700 1 |a Шальнов, А.В.  |e ред.  |4 edt 
942 |2 udc  |c BK 
999 |c 70994 
952 |o PII/531440  |p FL0169172 
952 |o PII/532350  |p FL0168105 

Նմանատիպ նյութեր