Физико-химия термического окисления кремния в присутствии примесей /

Պահպանված է:
Մատենագիտական մանրամասներ
Հիմնական հեղինակ: Миттова, Ирина Яковлевна
Այլ հեղինակներ: Маршаков, И.К (Խմբագիր, ред.)
Ձևաչափ: Գիրք
Լեզու:Russian
Հրապարակվել է: Воронеж : Изд-во Воронеж. ун-та, 1987.
Խորագրեր:
Термическое окисление кремния
Ցուցիչներ: Ավելացրեք ցուցիչ
Չկան պիտակներ, Եղեք առաջինը, ով նշում է այս գրառումը!
LEADER 00773nam a2200205 a 4500
001 000200843
003 AM-YeHGA
005 20240208131430.0
008 990224s1987 ru |||||r|||||||||0|rus|d
040 |a AM-YEHGA  |c AM-YeHGA 
041 0 |a rus 
100 1 |a Миттова, Ирина Яковлевна 
245 1 0 |a Физико-химия термического окисления кремния в присутствии примесей /  |c И.Я. Миттова ; И.К. Маршаков. 
260 |a Воронеж :  |b Изд-во Воронеж. ун-та,  |c 1987. 
300 |a 200 с. 
650 1 4 |a Термическое окисление кремния 
700 1 |a Маршаков, И.К.  |e ред.  |4 edt 
942 |c BK 
999 |c 70629 
952 |o PII/580346  |p FL0091105 

Նմանատիպ նյութեր