Курносов, А. И., & Юдин, В. В. (1986). Технология производства полупроводниковых приборов и интегральных микросхем: Учебное пособие (3-е, перераб. и доп.). Высшая школа.

Курносов, Анатолий Иванович, and Владимир Васильевич Юдин. Технология производства полупроводниковых приборов и интегральных микросхем: Учебное пособие. 3-е, перераб. и доп. Москва: Высшая школа, 1986.

Курносов, Анатолий Иванович, and Владимир Васильевич Юдин. Технология производства полупроводниковых приборов и интегральных микросхем: Учебное пособие. 3-е, перераб. и доп. Высшая школа, 1986.