Բեռնվում է…
Расчет и проектирование устройств электронной и ионной литографии /
Պահպանված է:
Հիմնական հեղինակ: | |
---|---|
Այլ հեղինակներ: | |
Ձևաչափ: | Գիրք |
Լեզու: | Russian |
Հրապարակվել է: |
Москва :
Радио и связь,
1985.
|
Շարք: | Библиотека технолога радиоэлектронной аппаратуры
|
Խորագրեր: | |
Ցուցիչներ: |
Ավելացրեք ցուցիչ
Չկան պիտակներ, Եղեք առաջինը, ով նշում է այս գրառումը!
|
LEADER | 01179nam a2200265 u 4500 | ||
---|---|---|---|
001 | 000164324 | ||
003 | AM-YeHGA | ||
005 | 20230510144344.0 | ||
008 | 950720s1985 ru a|||gr|||||||||0|rus|d | ||
040 | |a AM-YeHGA |c AM-YeHGA | ||
041 | 0 | |a rus | |
100 | 1 | |a Попов, Виктор Кузьмич | |
245 | 1 | 0 | |a Расчет и проектирование устройств электронной и ионной литографии / |c В.К. Попов, С.Н. Ячменев. |
260 | |a Москва : |b Радио и связь, |c 1985. | ||
300 | |a 128 с. : |b ил. | ||
440 | 0 | |a Библиотека технолога радиоэлектронной аппаратуры | |
500 | |a На обл. загл. сер.: Б-ка технолога РЭА | ||
504 | |a Библиогр.: с. 124-126 | ||
650 | 1 | 4 | |a Микроэлектронные схемы интегральные |x Производство |x Механизация |
650 | 1 | 4 | |a Электронно-ионная технология |
700 | 1 | |a Ячменев, Станислав Николаевич | |
942 | |c BK | ||
999 | |c 57169 | ||
952 | |o PII/535945 |p FL0163749 | ||
952 | |o PII/544263 |p FL0148828 |