Плазменная технология в производстве СБИС /

Պահպանված է:
Մատենագիտական մանրամասներ
Այլ հեղինակներ: Толливер, Дональд, Золотарев, Ю.М (Թարգմանիչ, пер.), Машкова, Е.С (Խմբագիր, Թարգմանիչ, ред., пер.), Айнспрук, Н. (Խմբագիր, ред.), Браун, Д. (Խմբագիր, ред.)
Ձևաչափ: Գիրք
Լեզու:Russian
English
Հրապարակվել է: Москва : Мир, 1987.
Խորագրեր:
Электроника
Ցուցիչներ: Ավելացրեք ցուցիչ
Չկան պիտակներ, Եղեք առաջինը, ով նշում է այս գրառումը!
LEADER 01179nam a2200265 u 4500
001 000146653
003 AM-YeHGA
005 20230228111108.0
008 030329s1987 ru |||||||||||||||||rus d
040 |a AM-YEHGA  |c AM-YeHGA 
041 1 |a rus  |h eng 
245 0 0 |a Плазменная технология в производстве СБИС /  |c Д. Толливер и др. ; Под ред. Н. Айнспрука, Д. Брауна ; Пер. с англ. Ю.М. Золотарева и др., под ред. Е.С. Машковой. 
260 |a Москва :  |b Мир,  |c 1987. 
300 |a 470 с. :  |b ил. 
534 |p Оригинал на англ. :  |t VLSI Electronics Microstruture Science /  |a Norman G. Einspruch, Dale M. Brown-  |c New York : Academic Press, Inc. : 1984 
650 1 4 |a Электроника 
700 1 |a Толливер, Дональд 
700 1 |a Золотарев, Ю.М.  |e пер.  |4 trl 
700 1 |a Машкова, Е.С.  |e ред.  |4 edt  |e пер.  |4 trl 
700 1 |a Айнспрук, Н.  |e ред.  |4 edt 
700 1 |a Браун, Д.  |e ред.  |4 edt 
942 |2 udc  |c BK 
999 |c 50345 
952 |o PII/574702  |p FL0100206 
952 |o PII/600162  |p 120600162 

Նմանատիպ նյութեր