Բեռնվում է…
Оптико-электронные методы автоматизированного контроля топологии изделий микроэлектроники /
Պահպանված է:
| Հիմնական հեղինակ: | |
|---|---|
| Համատեղ հեղինակ: | |
| Ձևաչափ: | Գիրք |
| Լեզու: | Russian |
| Հրապարակվել է: |
Минск :
Наука и техника,
1989.
|
| Խորագրեր: | |
| Ցուցիչներ: |
Ավելացրեք ցուցիչ
Չկան պիտակներ, Եղեք առաջինը, ով նշում է այս գրառումը!
|
| LEADER | 01214nam a2200265 a 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | 000137242 | ||
| 003 | AM-YeHGA | ||
| 005 | 20230403122439.0 | ||
| 008 | 950417s1989 bw ||||gr|||||||||0|rus|d | ||
| 020 | |a 5343000878 | ||
| 040 | |a AM-YEHGA |c AM-YeHGA | ||
| 041 | 0 | |a rus | |
| 100 | 1 | |a Чехович, Евгений Казимирович | |
| 245 | 1 | 0 | |a Оптико-электронные методы автоматизированного контроля топологии изделий микроэлектроники / |c Е.К. Чехович ; АН БССР. Ин-т электроники. |
| 260 | |a Минск : |b Наука и техника, |c 1989. | ||
| 300 | |a 213 с. ; |c 20 см. | ||
| 504 | |a Библиогр.: с. 200-211 | ||
| 650 | 1 | 4 | |a Микроэлектронная аппаратура |x Размеры |x Технический контроль автоматический |
| 650 | 1 | 4 | |a Контрольно-измерительные инструменты |
| 650 | 1 | 4 | |a Приборы оптоэлектронные |
| 710 | 2 | |a Институт электроники АН БССР | |
| 942 | |2 udc |c BK | ||
| 999 | |c 46721 | ||
| 952 | |o РII/603463 |p 120603463 | ||
| 952 | |o РII/603804 |p 120603804 | ||