Нитрид кремния в электронике /

Պահպանված է:
Մատենագիտական մանրամասներ
Համատեղ հեղինակներ: Институт физики полупроводников СО АН СССР, Институт неорганической химии СО АН СССР
Այլ հեղինակներ: Белый, Вячеслав Иванович, Васильева, Людмила Львовна, Ржанов, Анатолий Васильевич (Խմբագիր, ред.)
Ձևաչափ: Գիրք
Լեզու:Russian
Հրապարակվել է: Новосибирск : Наука. Сиб. отд-ние, 1982.
Խորագրեր:
Кремний, нитрид
Ցուցիչներ: Ավելացրեք ցուցիչ
Չկան պիտակներ, Եղեք առաջինը, ով նշում է այս գրառումը!
LEADER 01159nam a2200253 a 4500
001 000131797
003 AM-YEHGA
005 20240827014531.0
008 990614s1982 ru a|||gr|||||||||0|rus|d
040 |a AM-YEHGA  |c AM-YeHGA 
041 0 |a rus 
245 0 0 |a Нитрид кремния в электронике /  |c В.И. Белый и др. ; Отв. ред. А.В. Ржанов ; АН СССР, Сиб. отд-ние, Ин-т физики полупроводников, Ин-т неорган. химии  
260 |a Новосибирск :  |b Наука. Сиб. отд-ние,  |c 1982. 
300 |a 200 с. :  |b ил. 
504 |a Библиогр.: c. 186-198 
650 1 4 |a Кремний, нитрид  
700 1 |a Белый, Вячеслав Иванович 
700 1 |a Васильева, Людмила Львовна 
700 1 |a Ржанов, Анатолий Васильевич  |e ред.  |4 edt 
710 2 |a Институт физики полупроводников СО АН СССР 
710 2 |a Институт неорганической химии СО АН СССР 
942 |c BK 
999 |c 44816 
952 |o PII/478030  |p FL0288478 

Նմանատիպ նյութեր