Բեռնվում է…
Химико-технологическая аппаратура микроэлектроники /
Պահպանված է:
Հիմնական հեղինակներ: | , |
---|---|
Ձևաչափ: | Գիրք |
Լեզու: | Russian |
Հրապարակվել է: |
Москва :
Энергия,
1979.
|
Խորագրեր: | |
Ցուցիչներ: |
Ավելացրեք ցուցիչ
Չկան պիտակներ, Եղեք առաջինը, ով նշում է այս գրառումը!
|
LEADER | 00921nam a2200229 a 4500 | ||
---|---|---|---|
001 | 000475986 | ||
003 | AM-YeHGA | ||
005 | 20220704170907.0 | ||
008 | 060221s1979 ||||||||||||||||||||rus d | ||
040 | |a AM-YeHGA |c AM-YeHGA | ||
041 | 0 | |a rus | |
100 | 1 | |a Мягков, Алексей Тихонович | |
245 | 1 | 0 | |a Химико-технологическая аппаратура микроэлектроники / |c А.Т. Мягков, Е.М. Корсетов. |
260 | |a Москва : |b Энергия, |c 1979. | ||
300 | |a 312 с. : |b ил. | ||
504 | |a Библиогр.: с. 305-310 | ||
650 | 1 | 4 | |a Микроэлектроника |
653 | 0 | |a Микроэлектронные схемы, интегральные - Производство - Оборудование | |
700 | 1 | |a Корсетов, Евгений Михайлович |e авт. |4 aut | |
942 | |c BK | ||
999 | |c 387438 | ||
952 | |o PII/434286 |p FL0452034 |