Բեռնվում է…
Физико-химические основы полупроводникового и микроэлектронного производства : Учебное пособие /
Պահպանված է:
Հիմնական հեղինակ: | |
---|---|
Համատեղ հեղինակ: | |
Ձևաչափ: | Գիրք |
Լեզու: | Russian |
Հրապարակվել է: |
Москва :
Б. и.,
1977.
|
Խորագրեր: | |
Ցուցիչներ: |
Ավելացրեք ցուցիչ
Չկան պիտակներ, Եղեք առաջինը, ով նշում է այս գրառումը!
|
LEADER | 01054nam a2200217 a 4500 | ||
---|---|---|---|
001 | 001170753 | ||
003 | AM-YeHGA | ||
005 | 20220704144010.0 | ||
008 | 160822s1977 ||| r 000 0 rus d | ||
040 | |a AM-YEHGA |c AM-YeHGA | ||
041 | 0 | |a rus | |
100 | 1 | |a Тихонов, Юрий Николаевич | |
245 | 1 | 0 | |a Физико-химические основы полупроводникового и микроэлектронного производства : |b Учебное пособие / |c Тихонов Ю.Н.; Моск. ин-т радиотехники, электроники и автоматики. |
260 | |a Москва : |b Б. и., |c 1977. | ||
300 | |a 116 с. : |b ил. | ||
504 | |a Библиогр.: с. 116 | ||
653 | 0 | |a Полупроводники - Производство | |
653 | 0 | |a Микроэлектронные схемы - Производство | |
710 | 2 | |a Московский институт радиотехники, электроники и автоматики | |
999 | |c 375783 | ||
952 | |o РII/407871 |p FL0422610 |