Тихонов, Ю. Н. (1977). Физико-химические основы полупроводникового и микроэлектронного производства: Учебное пособие. Б. и..
Չիկագոյի ոճի (17րդ խմբ.) մեջբերումТихонов, Юрий Николаевич. Физико-химические основы полупроводникового и микроэлектронного производства: Учебное пособие. Москва: Б. и., 1977.
MLA (8րդ խմբ.) ՄեջբերումТихонов, Юрий Николаевич. Физико-химические основы полупроводникового и микроэлектронного производства: Учебное пособие. Б. и., 1977.
Զգուշացում. այս մեջբերումները միշտ չէ, որ կարող են 100% ճշգրիտ լինել.