Основы фотолитографии в производстве интегральных схем /

Պահպանված է:
Մատենագիտական մանրամասներ
Հիմնական հեղինակ: Малин, Б,В
Այլ հեղինակներ: Эрез, Т.И
Ձևաչափ: Գիրք
Լեզու:Russian
Հրապարակվել է: Москва : Изд-во ЦНИИ "Электроника", 1973.
Շարք:Обзоры по электронной технике
Микроэлектроника 2(86)
Խորագրեր:
Электротехника
Ցուցիչներ: Ավելացրեք ցուցիչ
Չկան պիտակներ, Եղեք առաջինը, ով նշում է այս գրառումը!
LEADER 00900nam a2200229 a 4500
001 000856797
003 AM-YeHGA
005 20220630150140.0
008 111227s1973 ||| r 000 0 rus d
040 |a AM-YeHGA  |c AM-YeHGA 
041 0 |a rus 
100 1 |a Малин, Б,В. 
245 1 0 |a Основы фотолитографии в производстве интегральных схем /  |c Б.М. Малин, Т.И. Эрез; М-во электронной промышленности СССР. 
260 |a Москва :  |b Изд-во ЦНИИ "Электроника",  |c 1973. 
300 |a 39 с. :  |b ил. 
440 0 |a Обзоры по электронной технике 
440 0 |a Микроэлектроника  |v 2(86) 
504 |a Библиогр.: с. 35-38 
653 0 |a Электротехника 
700 1 |a Эрез, Т.И. 
999 |c 306793 
952 |o PII/312555  |p FL0214835 

Նմանատիպ նյութեր