Բեռնվում է…
Высокоразрешающая неорганическая фотолитография /
Պահպանված է:
| Հիմնական հեղինակ: | |
|---|---|
| Այլ հեղինակներ: | , |
| Ձևաչափ: | Գիրք |
| Լեզու: | Russian |
| Հրապարակվել է: |
Киев :
Вища шк Изд-во при Киев. ун-те,
1983.
|
| Շարք: | Ученые вузов производству
|
| Խորագրեր: | |
| Ցուցիչներ: |
Ավելացրեք ցուցիչ
Չկան պիտակներ, Եղեք առաջինը, ով նշում է այս գրառումը!
|
| LEADER | 01052nam a2200241 a 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | 000844756 | ||
| 003 | AM-YeHGA | ||
| 005 | 20220630143028.0 | ||
| 008 | 111109s1983 ru r 000 0 rus d | ||
| 040 | |a AM-YeHGA |c AM-YeHGA | ||
| 041 | 0 | |a rus | |
| 100 | 1 | |a Гранкин, Илья Михайлович | |
| 245 | 1 | 0 | |a Высокоразрешающая неорганическая фотолитография / |c И. М. Гранкин, А. В. Коломейко, В. П. Погребняк. |
| 260 | |a Киев : |b Вища шк |b Изд-во при Киев. ун-те, |c 1983. | ||
| 300 | |a 53 с. : |b ил. | ||
| 440 | 0 | |a Ученые вузов производству | |
| 504 | |a Библиогр.: с. 49-52 | ||
| 653 | 0 | |a Фотолитография | |
| 653 | 0 | |a Микроэлектронные схемы интегральные - Производство | |
| 700 | 1 | |a Коломейко, Анатолий Викторович | |
| 700 | 1 | |a Погребняк, Виталий Петрович | |
| 999 | |c 304499 | ||
| 952 | |o PII/511893 |p FL0210457 | ||