Բեռնվում է…
Основные проблемы современной фотолитографии : (Аналитический обзор) /
Պահպանված է:
| Հիմնական հեղինակ: | |
|---|---|
| Ձևաչափ: | Գիրք |
| Լեզու: | Russian |
| Հրապարակվել է: |
Москва :
Электроника,
1973.
|
| Շարք: | Обзоры по электронной технике. Сер. полупроводниковые приборы
3(98) |
| Խորագրեր: | |
| Ցուցիչներ: |
Ավելացրեք ցուցիչ
Չկան պիտակներ, Եղեք առաջինը, ով նշում է այս գրառումը!
|
| LEADER | 00884nam a2200205 a 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | 000844109 | ||
| 003 | AM-YeHGA | ||
| 005 | 20220630142742.0 | ||
| 008 | 111107s1973 ||| r 000 0 rus d | ||
| 040 | |a AM-YeHGA |c AM-YeHGA | ||
| 041 | 0 | |a rus | |
| 100 | 1 | |a Рубцова, Нина Николаевна | |
| 245 | 1 | 0 | |a Основные проблемы современной фотолитографии : |b (Аналитический обзор) / |c И.Н. Рубцова; М-во электр. промышленности СССР. |
| 260 | |a Москва : |b Электроника, |c 1973. | ||
| 300 | |a 64 с. : |b ил. | ||
| 440 | 0 | |a Обзоры по электронной технике. Сер. полупроводниковые приборы |v 3(98) | |
| 504 | |a Библиогр.: с. 57-64 | ||
| 653 | 0 | |a Фотолитография | |
| 999 | |c 304298 | ||
| 952 | |o PII/311038 |p FL0210554 | ||