Основные проблемы современной фотолитографии : (Аналитический обзор) /

Պահպանված է:
Մատենագիտական մանրամասներ
Հիմնական հեղինակ: Рубцова, Нина Николаевна
Ձևաչափ: Գիրք
Լեզու:Russian
Հրապարակվել է: Москва : Электроника, 1973.
Շարք:Обзоры по электронной технике. Сер. полупроводниковые приборы 3(98)
Խորագրեր:
Фотолитография
Ցուցիչներ: Ավելացրեք ցուցիչ
Չկան պիտակներ, Եղեք առաջինը, ով նշում է այս գրառումը!
Նկարագրություն
Ֆիզիկական նկարագրություն:64 с. : ил.
Մատենագիտություն:Библиогр.: с. 57-64

Նմանատիպ նյութեր