Физические основы создания и совершенствования технологического оборудования в микроэлектронике : Сборник научных трудов /

Պահպանված է:
Մատենագիտական մանրամասներ
Համատեղ հեղինակ: Московский институт электронной техники
Այլ հեղինակներ: Блинов, Иван Григорьевич (Խմբագիր, ред.)
Ձևաչափ: Գիրք
Լեզու:Russian
Հրապարակվել է: Москва : МИЭТ, 1981.
Խորագրեր:
Электронная технология - Сборники
Ցուցիչներ: Ավելացրեք ցուցիչ
Չկան պիտակներ, Եղեք առաջինը, ով նշում է այս գրառումը!
LEADER 01059nam a2200217 a 4500
001 000843367
003 AM-YeHGA
005 20220630142439.0
008 111103s1981 ru r 000 0 rus d
040 |a AM-YeHGA  |c AM-YeHGA 
041 0 |a rus 
245 0 0 |a Физические основы создания и совершенствования технологического оборудования в микроэлектронике :  |b Сборник научных трудов /  |c Моск. ин-т электрон. техники; [Редкол.: Блинов И. Г. (отв. ред.) и др.]. 
260 |a Москва :  |b МИЭТ,  |c 1981. 
300 |a 151 с. :  |b ил. 
504 |a Библиогр. в конце работ 
653 0 |a Электронная технология - Сборники 
700 1 |a Блинов, Иван Григорьевич  |e ред.  |4 edt 
710 2 |a Московский институт электронной техники 
999 |c 304084 
952 |o PII/479356  |p FL0285871 
952 |o PII/512358  |p FL0210089 

Նմանատիպ նյութեր