Физические явления в технологии микроэлектроники : Сборник научных трудов /

Պահպանված է:
Մատենագիտական մանրամասներ
Համատեղ հեղինակ: Московский институт электронной техники
Այլ հեղինակներ: Шермергор, Тимофей Дмитриевич (Խմբագիր, ред.)
Ձևաչափ: Գիրք
Լեզու:Russian
Հրապարակվել է: Москва : МИЭТ, 1982 (вып. дан. 1983).
Խորագրեր:
Микроэлектронные схемы интегральные - Производство - Физические основы
Ցուցիչներ: Ավելացրեք ցուցիչ
Չկան պիտակներ, Եղեք առաջինը, ով նշում է այս գրառումը!
LEADER 01069nam a2200217 a 4500
001 000843010
003 AM-YeHGA
005 20220630142336.0
008 111102s19821983ru r 000 0 rus d
040 |a AM-YeHGA  |c AM-YeHGA 
041 0 |a rus 
245 0 0 |a Физические явления в технологии микроэлектроники :  |b Сборник научных трудов /  |c Моск. ин-т электрон. техники; [Редкол.: Т. Д. Шермергор (гл. ред.) и др.]. 
260 |a Москва :  |b МИЭТ,  |c 1982 (вып. дан. 1983). 
300 |a 88 с. :  |b ил. 
504 |a Библиогр. в конце ст. 
653 0 |a Микроэлектронные схемы интегральные - Производство - Физические основы 
700 1 |a Шермергор, Тимофей Дмитриевич  |e ред.  |4 edt 
710 2 |a Московский институт электронной техники 
999 |c 303992 
952 |o PII/494370  |p FL0242123 
952 |o PII/512285  |p FL0210137 

Նմանատիպ նյութեր