Московский институт электронной техники & Шермергор, Т. Д. (1982). Физические явления в технологии микроэлектроники: Сборник научных трудов. МИЭТ.
Չիկագոյի ոճի (17րդ խմբ.) մեջբերումМосковский институт электронной техники and Тимофей Дмитриевич Шермергор. Физические явления в технологии микроэлектроники: Сборник научных трудов. Москва: МИЭТ, 1982.
MLA (8րդ խմբ.) ՄեջբերումМосковский институт электронной техники and Тимофей Дмитриевич Шермергор. Физические явления в технологии микроэлектроники: Сборник научных трудов. МИЭТ, 1982.
Զգուշացում. այս մեջբերումները միշտ չէ, որ կարող են 100% ճշգրիտ լինել.