Процессы плазменного травления в микро- и нанотехнологиях / : Учебное пособие /

Պահպանված է:
Մատենագիտական մանրամասներ
Հիմնական հեղինակ: Галперин, Вячеслав Александрович
Այլ հեղինակներ: Данилкин, Евгений Владимирович, Мочалов, Алексей Иванович, Тимошенко, С.П (Խմբագիր, ред.)
Ձևաչափ: Գիրք
Լեզու:Russian
Հրապարակվել է: Москва : Бином. Лаб. знаний, 2010.
Շարք:Нанотехнологии
Խորագրեր:
Радиоэлектроника
Микроэлектроника
Нанотехнологии
Ցուցիչներ: Ավելացրեք ցուցիչ
Չկան պիտակներ, Եղեք առաջինը, ով նշում է այս գրառումը!
LEADER 01213nam a2200277 u 4500
001 000813899
003 AM-YeHGA
005 20210831174805.0
008 110620s2010 ||| r 000 0 rus d
020 |a 9785996300327 
040 |a AM-YEHGA  |c AM-YeHGA 
041 0 |a rus 
100 1 |a Галперин, Вячеслав Александрович 
245 1 0 |a Процессы плазменного травления в микро- и нанотехнологиях / :  |b Учебное пособие /  |c В. А. Галперин, Е. В. Данилкин, А. И. Мочалов ; под ред. С. П. Тимошенкова. 
260 |a Москва :  |b Бином. Лаб. знаний,  |c 2010. 
300 |a 283 с. :  |b ил., табл. 
440 0 |a Нанотехнологии 
504 |a Библиогр.: с. 275-280 
650 1 4 |a Радиоэлектроника 
653 0 |a Микроэлектроника 
653 |a Нанотехнологии 
700 1 |a Данилкин, Евгений Владимирович 
700 1 |a Мочалов, Алексей Иванович 
700 1 |a Тимошенко, С.П.  |e ред.  |4 edt 
999 |c 296377 
952 |j 127  |o PII/655705  |p FL0187230 

Նմանատիպ նյութեր