Բեռնվում է…
Процессы плазменного травления в микро- и нанотехнологиях / : Учебное пособие /
Պահպանված է:
| Հիմնական հեղինակ: | |
|---|---|
| Այլ հեղինակներ: | , , |
| Ձևաչափ: | Գիրք |
| Լեզու: | Russian |
| Հրապարակվել է: |
Москва :
Бином. Лаб. знаний,
2010.
|
| Շարք: | Нанотехнологии
|
| Խորագրեր: | |
| Ցուցիչներ: |
Ավելացրեք ցուցիչ
Չկան պիտակներ, Եղեք առաջինը, ով նշում է այս գրառումը!
|
| Ֆիզիկական նկարագրություն: | 283 с. : ил., табл. |
|---|---|
| Մատենագիտություն: | Библиогр.: с. 275-280 |
| ISBN: | 9785996300327 |