Բեռնվում է…
Моделирование и расчет элементов и устройств технологического оборудования микроэлектроники : Сборник научных трудов /
Պահպանված է:
| Համատեղ հեղինակ: | |
|---|---|
| Այլ հեղինակներ: | |
| Ձևաչափ: | Գիրք |
| Լեզու: | Russian |
| Հրապարակվել է: |
Москва :
МИЭТ,
1985
|
| Խորագրեր: | |
| Ցուցիչներ: |
Ավելացրեք ցուցիչ
Չկան պիտակներ, Եղեք առաջինը, ով նշում է այս գրառումը!
|
| LEADER | 01148nam a2200217 a 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | 000666045 | ||
| 003 | AM-YeHGA | ||
| 005 | 20210831162637.0 | ||
| 008 | 090611s1985 ru r 000 0 rus d | ||
| 040 | |a AM-YEHGA |c AM-YeHGA | ||
| 041 | 0 | |a rus | |
| 245 | 0 | 0 | |a Моделирование и расчет элементов и устройств технологического оборудования микроэлектроники : |b Сборник научных трудов / |c Моск. ин-т электрон. техники; [Редкол.: И. Г. Блинов (гл. ред.) и др.]. |
| 260 | |a Москва : |b МИЭТ, |c 1985 |g 1986 | ||
| 300 | |a 119 с. : |b ил. ; |c 20 см. | ||
| 504 | |a Библиогр. в конце ст. | ||
| 653 | 0 | |a Электронная промышленность, предприятия - Оборудование | |
| 653 | 0 | |a Микроэлектронные схемы интегральные - Производство | |
| 700 | 1 | |a Блинов, И.Г |e ред |4 edt | |
| 710 | 2 | |a Московский институт электронной техники | |
| 999 | |c 246598 | ||
| 952 | |o PII/564985 |p FL0115692 | ||