Բեռնվում է…

Моделирование и расчет элементов и устройств технологического оборудования микроэлектроники : Сборник научных трудов /

Պահպանված է:
Մատենագիտական մանրամասներ
Համատեղ հեղինակ: Московский институт электронной техники
Այլ հեղինակներ: Блинов, И.Г (Խմբագիր, ред)
Ձևաչափ: Գիրք
Լեզու:Russian
Հրապարակվել է: Москва : МИЭТ, 1985
Խորագրեր:
Ցուցիչներ: Ավելացրեք ցուցիչ
Չկան պիտակներ, Եղեք առաջինը, ով նշում է այս գրառումը!
LEADER 01148nam a2200217 a 4500
001 000666045
003 AM-YeHGA
005 20210831162637.0
008 090611s1985 ru r 000 0 rus d
040 |a AM-YeHGA  |c AM-YeHGA 
041 0 |a rus 
245 0 0 |a Моделирование и расчет элементов и устройств технологического оборудования микроэлектроники :  |b Сборник научных трудов /  |c Моск. ин-т электрон. техники; [Редкол.: И. Г. Блинов (гл. ред.) и др.]. 
260 |a Москва :  |b МИЭТ,  |c 1985  |g 1986 
300 |a 119 с. :  |b ил. ;  |c 20 см. 
504 |a Библиогр. в конце ст. 
653 0 |a Электронная промышленность, предприятия - Оборудование 
653 0 |a Микроэлектронные схемы интегральные - Производство 
700 1 |a Блинов, И.Г  |e ред  |4 edt 
710 2 |a Московский институт электронной техники 
999 |c 246598 
952 |o PII/564985  |p FL0115692