Всесоюзная конференция "Ионно-лучевая модификация материалов", 23-25 июня 1987 г., Черноголовка Московской области : Тезисы оригинальных докладов.

Պահպանված է:
Մատենագիտական մանրամասներ
Համատեղ հեղինակ: "Ионно-лучевая модификация материалов", всесоюзная конф. (Черноголовка
Ձևաչափ: Գիտաժողովի նյութեր Գիրք
Լեզու:Russian
Հրապարակվել է: Черноголовка : Б. и., 1987.
Խորագրեր:
Ионное легирование - Тезисы докладов
Ցուցիչներ: Ավելացրեք ցուցիչ
Չկան պիտակներ, Եղեք առաջինը, ով նշում է այս գրառումը!
Նկարագրություն
Նյութի նկարագրություն:В надзаг.: Секция "Технология направл. обраб. поверхности" Науч. совета АН СССР "Физика, химия и механика поверхности", Секция "Ион. имплантация" Науч. совета АН СССР по пробл."Физика и химия полупроводников", Науч. совет ГКНТ по пробл. "Обраб. конструкц. материалов пучками заряж. частиц", Ин-т пробл. технологии микроэлектроники и особочистых материалов АН СССР
Ֆիզիկական նկարագրություն:279 с. : ил. ; 20 см.
Մատենագիտություն:Библиогр. в конце ст.

Նմանատիպ նյութեր