Таблицы параметров пространственного распределения ионно-имплантированных примесей : (Теория, метод расчета, таблицы) /

Պահպանված է:
Մատենագիտական մանրամասներ
Այլ հեղինակներ: Буренков, Александр Федорович, Комаров, Ф.Ф, Темкин, М.М
Ձևաչափ: Գիրք
Լեզու:Russian
Հրապարակվել է: Минск : Изд-во БГУ им. В.И. Ленина, 1980.
Խորագրեր:
Полупроводники - Легирование ионное - Расчетные таблицы
Ցուցիչներ: Ավելացրեք ցուցիչ
Չկան պիտակներ, Եղեք առաջինը, ով նշում է այս գրառումը!
LEADER 01101nam a2200229 u 4500
001 000461930
003 AM-YeHGA
005 20210831142708.0
008 051103s1980 ||| r 000 0 rus d
040 |a AM-YeHGA  |c AM-YeHGA  
041 0 |a rus 
245 0 0 |a Таблицы параметров пространственного распределения ионно-имплантированных примесей :  |b (Теория, метод расчета, таблицы) /  |c А.Ф. Буренков, Ф.Ф. Комаров, М.А. Кумахов, М.М. Темкин. 
260 |a Минск :  |b Изд-во БГУ им. В.И. Ленина,  |c 1980. 
300 |a 348 с.  |b табл. 
504 |a Библиогр.: с. 345-348 
653 0 |a Полупроводники - Легирование ионное - Расчетные таблицы 
700 1 |a Буренков, Александр Федорович 
700 1 |a Комаров, Ф.Ф. 
700 1 |a Темкин, М.М. 
999 |c 169781 
952 |o 537.311.322:537.572(083.5)  |p 110047026 
952 |o 537.311.322:537.572(083.5)  |p 110047344 

Նմանատիպ նյութեր