Բեռնվում է…

Чистые помещения /

Պահպանված է:
Մատենագիտական մանրամասներ
Հիմնական հեղինակ: Хаякава Ития (Խմբագիր, авт., ред.)
Այլ հեղինակներ: Ржанов, В.Г (Թարգմանիչ, Խմբագիր, пер., ред.), Ушаков, В.И (Թարգմանիչ, Խմբագիր, пер., ред.), Акифьев, В.Ю (Թարգմանիչ, пер.)
Ձևաչափ: Գիրք
Լեզու:Russian
Japanese
Հրապարակվել է: Москва : Мир, 1990.
Խորագրեր:
Ցուցիչներ: Ավելացրեք ցուցիչ
Չկան պիտակներ, Եղեք առաջինը, ով նշում է այս գրառումը!
LEADER 01259nam a2200289 u 4500
001 000402243
003 AM-YeHGA
005 20210831135913.0
008 050113s1990 ||| r 000 0 rus d
020 |a 5030003630 (русск.) 
020 |a 4-7530-4851-9 (яп.) 
040 |a AM-YEHGA  |c AM-YeHGA 
041 1 |a rus  |h jpn 
245 0 0 |a Чистые помещения /  |c И. Хаякава и др.; Под ред.: И. Хаякавы; Пер. с яп. В.Ю. Акифьева и др. ; Под ред. В.Г. Ржанова, В.И. Ушакова. 
260 |a Москва :  |b Мир,  |c 1990. 
300 |a 454 с. :  |b ил. 
500 |a Авт. указаны перед вып. дан. 
504 |a Библиогр.: с. 439-450 
650 1 4 |a Чистые производственные помещения 
650 1 4 |a Микроэлектронные схемы интегральные - Производство 
700 1 |a Хаякава Ития  |e авт.  |4 aut  |e ред.  |4 edt 
700 1 |a Ржанов, В.Г.  |e пер.  |4 trl  |e ред.  |4 edt 
700 1 |a Ушаков, В.И.  |e пер.  |4 trl  |e ред.  |4 edt 
700 1 |a Акифьев, В.Ю.  |e пер.  |4 trl 
999 |c 153893 
952 |o 628.8:54-483  |p 120613798 
952 |o 628.8:54-483  |p 120622012