Բեռնվում է…
Газовые системы оборудования производства полупроводниковых приборов и интегральных схем /
Պահպանված է:
| Հիմնական հեղինակ: | |
|---|---|
| Այլ հեղինակներ: | |
| Ձևաչափ: | Գիրք |
| Լեզու: | Russian |
| Հրապարակվել է: |
Москва :
Энергия,
1978.
|
| Շարք: | Библиотека технолога радиоэлектронной аппаратуры
Вып. 12 |
| Խորագրեր: | |
| Ցուցիչներ: |
Ավելացրեք ցուցիչ
Չկան պիտակներ, Եղեք առաջինը, ով նշում է այս գրառումը!
|
| LEADER | 00975nam a2200217 u 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | 000384274 | ||
| 003 | AM-YeHGA | ||
| 005 | 20210831134959.0 | ||
| 008 | 041118s1978 ||||||||||||||||||||rus d | ||
| 040 | |a AM-YEHGA |c AM-YeHGA | ||
| 041 | 0 | |a rus | |
| 100 | 1 | |a Барил, Михаил Абрамович | |
| 245 | 1 | 0 | |a Газовые системы оборудования производства полупроводниковых приборов и интегральных схем / |c М.А. Барил, В.К. Самойликов. |
| 260 | |a Москва : |b Энергия, |c 1978. | ||
| 300 | |a 112 с. : |b ил. | ||
| 440 | 0 | |a Библиотека технолога радиоэлектронной аппаратуры |v Вып. 12 | |
| 504 | |a Список лит. с. 110-111 | ||
| 650 | 1 | 4 | |a Электронное машиностроение |
| 700 | 1 | |a Самойликов, Вячеслав Константинович | |
| 999 | |c 147824 | ||
| 952 | |o РII/410458 |p FL0424186 | ||