Газовые системы оборудования производства полупроводниковых приборов и интегральных схем /

Պահպանված է:
Մատենագիտական մանրամասներ
Հիմնական հեղինակ: Барил, Михаил Абрамович
Այլ հեղինակներ: Самойликов, Вячеслав Константинович
Ձևաչափ: Գիրք
Լեզու:Russian
Հրապարակվել է: Москва : Энергия, 1978.
Շարք:Библиотека технолога радиоэлектронной аппаратуры Вып. 12
Խորագրեր:
Электронное машиностроение
Ցուցիչներ: Ավելացրեք ցուցիչ
Չկան պիտակներ, Եղեք առաջինը, ով նշում է այս գրառումը!
LEADER 00976nam a2200217 u 4500
001 000384274
003 AM-YeHGA
005 20210831134959.0
008 041118s1978 ||||||||||||||||||||rus d
040 |a AM-YeHGA  |c AM-YeHGA  
041 0 |a rus 
100 1 |a Барил, Михаил Абрамович 
245 1 0 |a Газовые системы оборудования производства полупроводниковых приборов и интегральных схем /  |c М.А. Барил, В.К. Самойликов. 
260 |a Москва :  |b Энергия,  |c 1978. 
300 |a 112 с. :  |b ил. 
440 0 |a Библиотека технолога радиоэлектронной аппаратуры  |v Вып. 12 
504 |a Список лит. с. 110-111 
650 1 4 |a Электронное машиностроение 
700 1 |a Самойликов, Вячеслав Константинович 
999 |c 147824 
952 |o РII/410458  |p FL0424186 

Նմանատիպ նյութեր