Газовые системы оборудования производства полупроводниковых приборов и интегральных схем /

Պահպանված է:
Մատենագիտական մանրամասներ
Հիմնական հեղինակ: Барил, Михаил Абрамович
Այլ հեղինակներ: Самойликов, Вячеслав Константинович
Ձևաչափ: Գիրք
Լեզու:Russian
Հրապարակվել է: Москва : Энергия, 1978.
Շարք:Библиотека технолога радиоэлектронной аппаратуры Вып. 12
Խորագրեր:
Электронное машиностроение
Ցուցիչներ: Ավելացրեք ցուցիչ
Չկան պիտակներ, Եղեք առաջինը, ով նշում է այս գրառումը!
Նկարագրություն
Ֆիզիկական նկարագրություն:112 с. : ил.
Մատենագիտություն:Список лит. с. 110-111

Նմանատիպ նյութեր