Технология и аппаратура газовой эпитаксии кремния и германия /

Պահպանված է:
Մատենագիտական մանրամասներ
Այլ հեղինակներ: Скворцов, И.М, Лапидус, И.И, Орион, Б.В
Ձևաչափ: Գիրք
Լեզու:Russian
Հրապարակվել է: Москва : Энергия, 1978.
Խորագրեր:
Газовая эпитаксия
Ցուցիչներ: Ավելացրեք ցուցիչ
Չկան պիտակներ, Եղեք առաջինը, ով նշում է այս գրառումը!
LEADER 00778nam a2200217 u 4500
001 000345842
003 AM-YeHGA
005 20210831132504.0
008 040623s1978 ||| r 000 0 rus d
040 |a AM-YeHGA  |c AM-YeHGA  
041 0 |a rus 
245 0 0 |a Технология и аппаратура газовой эпитаксии кремния и германия /  |c И.М. Скворцов, И.И. Лапидус, Б.В. Орион и др. 
260 |a Москва :  |b Энергия,  |c 1978. 
300 |a 136 с. :  |b ил. 
504 |b Библиогр.: 113 назв. 
650 1 4 |a Газовая эпитаксия 
700 1 |a Скворцов, И.М. 
700 1 |a Лапидус, И.И. 
700 1 |a Орион, Б.В. 
999 |c 133106 
952 |o PII/422235  |p FL0436853 

Նմանատիպ նյութեր