Электронно-лучевая технология в изготовлении микроэлектронных приборов /

Պահպանված է:
Մատենագիտական մանրամասներ
Հիմնական հեղինակ: Брюэр, Джордж Р. (Խմբագիր, авт., ред.)
Այլ հեղինակներ: Гринич, Джеймс С., Херриот, Дональд Р., Пресс, Ф.П (Թարգմանիչ, пер.)
Ձևաչափ: Գիրք
Լեզու:Russian
English
Հրապարակվել է: Москва : Радио и связь, 1984.
Խորագրեր:
Изготовление микроэлектронных приборов
Ցուցիչներ: Ավելացրեք ցուցիչ
Չկան պիտակներ, Եղեք առաջինը, ով նշում է այս գրառումը!
LEADER 01211nam a2200253 u 4500
001 000345300
003 AM-YeHGA
005 20210831132446.0
008 040621s1984 ||| r 000 0 rus d
040 |a AM-YeHGA  |c AM-YeHGA  
041 1 |a rus  |h eng 
245 0 0 |a Электронно-лучевая технология в изготовлении микроэлектронных приборов /  |c Дж.Р. Брюэр и др. ; Под ред. Дж.Р. Брюэра ; Пер. с. англ. Ф.П. Пресса. 
260 |a Москва :  |b Радио и связь,  |c 1984. 
300 |a 336 с. :  |b ил. 
504 |a Библиогр.: с. 316 - 328. 
534 |p Оригинал на англ. :  |t Electron-Beam technology in Microelectronic Fabrication /  |a Edited by George R. Brewer -  |c New York : Academic Press : 1980 
650 1 4 |a Изготовление микроэлектронных приборов 
700 1 |a Брюэр, Джордж Р.  |e авт.  |4 aut  |e ред.  |4 edt 
700 1 |a Гринич, Джеймс С. 
700 1 |a Херриот, Дональд Р. 
700 1 |a Пресс, Ф.П.  |e пер.  |4 trl 
999 |c 132812 
952 |o  PII/523022  |p FL0185198 
952 |o PII/528778  |p FL0174043 

Նմանատիպ նյութեր