Моряков, О. С. (1974). Вакуумно-термические и термические процессы в полупроводниковом производстве: Учебник для профтехучилищ. Высшая школа.
Չիկագոյի ոճի (17րդ խմբ.) մեջբերումМоряков, Олег Сергеевич. Вакуумно-термические и термические процессы в полупроводниковом производстве: Учебник для профтехучилищ. Москва: Высшая школа, 1974.
MLA (8րդ խմբ.) ՄեջբերումМоряков, Олег Сергеевич. Вакуумно-термические и термические процессы в полупроводниковом производстве: Учебник для профтехучилищ. Высшая школа, 1974.
Զգուշացում. այս մեջբերումները միշտ չէ, որ կարող են 100% ճշգրիտ լինել.