Բեռնվում է…

Плазмохимическое и ионно-химическое травление микроструктур /

Պահպանված է:
Մատենագիտական մանրամասներ
Հիմնական հեղինակ: Киреев, В.Ю
Այլ հեղինակներ: Данилин, Б.С, Кузнецов, В.И
Ձևաչափ: Գիրք
Լեզու:Russian
Հրապարակվել է: Москва : Радио и связь, 1983.
Շարք:Массовая бибилиотека инженера "Электроника"
Խորագրեր:
Ցուցիչներ: Ավելացրեք ցուցիչ
Չկան պիտակներ, Եղեք առաջինը, ով նշում է այս գրառումը!
LEADER 00896nam a2200229 u 4500
001 000330743
003 AM-YeHGA
005 20210831131252.0
008 040421s1983 ||| r 000 0 rus d
040 |a AM-YeHGA  |c AM-YeHGA  
041 0 |a rus 
100 1 |a Киреев, В.Ю. 
245 1 0 |a Плазмохимическое и ионно-химическое травление микроструктур /  |c В.Ю. Киреев, Б.С. Данилин, В.И. Кузнецов. 
260 |a Москва :  |b Радио и связь,  |c 1983. 
300 |a 128 c. :  |b ил. 
440 0 |a Массовая бибилиотека инженера "Электроника"  |n Вып. 36 
504 |a Библиогр.: с. 121 - 125(92 назв.) 
650 1 4 |a Электроника 
700 1 |a Данилин, Б.С. 
700 1 |a Кузнецов, В.И. 
999 |c 125233 
952 |o PII/503212  |p FL0228989