Բեռնվում է…
Плазмохимическое и ионно-химическое травление микроструктур /
Պահպանված է:
Հիմնական հեղինակ: | |
---|---|
Այլ հեղինակներ: | , |
Ձևաչափ: | Գիրք |
Լեզու: | Russian |
Հրապարակվել է: |
Москва :
Радио и связь,
1983.
|
Շարք: | Массовая бибилиотека инженера "Электроника"
|
Խորագրեր: | |
Ցուցիչներ: |
Ավելացրեք ցուցիչ
Չկան պիտակներ, Եղեք առաջինը, ով նշում է այս գրառումը!
|
LEADER | 00896nam a2200229 u 4500 | ||
---|---|---|---|
001 | 000330743 | ||
003 | AM-YeHGA | ||
005 | 20210831131252.0 | ||
008 | 040421s1983 ||| r 000 0 rus d | ||
040 | |a AM-YeHGA |c AM-YeHGA | ||
041 | 0 | |a rus | |
100 | 1 | |a Киреев, В.Ю. | |
245 | 1 | 0 | |a Плазмохимическое и ионно-химическое травление микроструктур / |c В.Ю. Киреев, Б.С. Данилин, В.И. Кузнецов. |
260 | |a Москва : |b Радио и связь, |c 1983. | ||
300 | |a 128 c. : |b ил. | ||
440 | 0 | |a Массовая бибилиотека инженера "Электроника" |n Вып. 36 | |
504 | |a Библиогр.: с. 121 - 125(92 назв.) | ||
650 | 1 | 4 | |a Электроника |
700 | 1 | |a Данилин, Б.С. | |
700 | 1 | |a Кузнецов, В.И. | |
999 | |c 125233 | ||
952 | |o PII/503212 |p FL0228989 |