| 000 | 00796nam a2200193 u 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | 000178648 | ||
| 003 | AM-YeHGA | ||
| 005 | 20230816101448.0 | ||
| 008 | 950720s1980 ru a|||gr|||||||||0|rus|d | ||
| 040 |
_aAM-YEHGA _cAM-YeHGA |
||
| 041 | 0 | _arus | |
| 245 | 0 | 0 |
_aСовременные проблемы эллипсометрии : _b[Сборник статей] / _cОтв. ред. А.В. Ржанов. |
| 260 |
_aНовосибирск : _bНаука. Сиб. отд-ние, _c1980. |
||
| 300 |
_a192 с. : _bил. ; _c22 см. |
||
| 550 | _aАН СССР, Сиб. отд-ние, Ин-т физики полупроводников | ||
| 650 | 1 | 4 |
_aЭллипсометрия _vСборники |
| 700 | 1 |
_aРжанов, Анатолий Васильевич _eред. _4edt |
|
| 942 |
_2udc _cBK _n0 |
||
| 999 |
_c62526 _d62526 |
||