| 000 | 00730nam a2200205 a 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | 000067645 | ||
| 003 | AM-YEHGA | ||
| 005 | 20240826202929.0 | ||
| 008 | 990615s1977 ru |||||||||||||||||rus d | ||
| 040 |
_aAM-YEHGA _cAM-YeHGA |
||
| 041 | 0 | _arus | |
| 245 | 0 | 0 |
_aВведение в фотолитографию / _cЮ.С. Боков, В.С. Корсаков и др. ; Под ред. В.П. Лаврищева. |
| 260 |
_aМосква : _bЭнергия, _c1977. |
||
| 300 |
_a400 с. : _bил. |
||
| 504 | _aСписок лит. с. 379-397 | ||
| 650 | 1 | 4 | _aФотолитография |
| 700 | 1 | _aКорсаков, Владимир Сергеевич | |
| 700 | 1 |
_aЛаврищев, В.П. _eред. _4edt |
|
| 942 |
_2udc _cBK |
||
| 999 |
_c20387 _d20387 |
||