Fundamental Scientific Library of NAS RA

Высокоразрешающая неорганическая фотолитография / И. М. Гранкин, А. В. Коломейко, В. П. Погребняк.

By: Гранкин, Илья МихайловичContributor(s): Коломейко, Анатолий Викторович | Погребняк, Виталий ПетровичMaterial type: TextTextLanguage: Russian Series: Ученые вузов производствуPublication details: Киев : Вища шк Изд-во при Киев. ун-те, 1983Description: 53 с. : илSubject(s): Фотолитография | Микроэлектронные схемы интегральные - Производство
Tags from this library: No tags from this library for this title. Log in to add tags.
Star ratings
    Average rating: 0.0 (0 votes)
Holdings
Item type Current library Collection Call number Status Notes Date due Barcode
Գրքեր/Books Գրքեր/Books Fundamental Scientific Library
General PII/511893 (Browse shelf(Opens below)) Available 30 Days Loan FL0210457

Библиогр.: с. 49-52

There are no comments on this title.

to post a comment.


ՀՀ ԳԱԱ հիմնարար գիտական գրադարան
ՀՀ,Երևան 0019
Մարշալ Բաղրամյան 24/6
հեռախոս:(374-10) 52-47-50
Հետադարձ կապ

All site content, except where otherwise noted, is licensed under a
Creative Commons License