Высокоразрешающая неорганическая фотолитография / И. М. Гранкин, А. В. Коломейко, В. П. Погребняк.
Material type: TextLanguage: Russian Series: Ученые вузов производствуPublication details: Киев : Вища шк Изд-во при Киев. ун-те, 1983Description: 53 с. : илSubject(s): Фотолитография | Микроэлектронные схемы интегральные - ПроизводствоItem type | Current library | Collection | Call number | Status | Notes | Date due | Barcode |
---|---|---|---|---|---|---|---|
Գրքեր/Books | Fundamental Scientific Library | General | PII/511893 (Browse shelf(Opens below)) | Available | 30 Days Loan | FL0210457 |
Библиогр.: с. 49-52
There are no comments on this title.