TY  - BOOK
AU  - Курносов,Анатолий Иванович
AU  - Юдин,Владимир Васильевич
TI  - Технология производства полупроводниковых приборов: Учебное пособие 
PY  - 1974///
CY  - Москва
PB  - Высшая школа
KW  - Полупроводниковые приборы
N1  - Учебное пособие для специальностей "Полупроводники и диэлектрики" и "Производство полупроводниковых приборов"; Библиогр.: с. 397 (17 назв.)
ER  -