TY  - BOOK
AU  - Готра,Зенон Юрьевич
TI  - Технология микроэлектронных устройств: Справочник 
SN  - 5256006991
PY  - 1991///
CY  - Москва
PB  - Радио и связь
KW  - Микроэлектронная аппаратура - Производство - Справочники
N1  - Библиогр.: с. 526 (22 назв.)
ER  -