Осипов, Кирилл Афанасьевич <br/><br/>
Осаждение пленок из низкотемпературной плазмы и ионных пучков / 
К.А. Осипов, Г.Э. Фолманис ; АН СССР. ИМ. 
 - Москва :  Наука,  1973. 
 - 87 с. :  ил. 
<br/><br/>Библиогр. 116 назв. 
<br/><br/><label>Subjects--Topical Terms: </label><br/>Пленки тонкие - Получение