Ефимов, Иван Ефимович <br/><br/>
Микроэлектроника :  Физические и технологические основы, надежность : Учебное пособие / 
И Е. Ефимов, И.Я. Козырь, Ю.И. Горбунов. 
 - 2-е изд., перераб. и доп. 
 - Москва :  Высш. шк,  1986. 
 - 463 с. :  ил. ;  22 см. 
<br/><br/>Библиогр.: с. 458 
<br/><br/> Предм. указ.: с. 459 - 461 
<br/><br/><label>Subjects--Topical Terms: </label><br/>Микроэлектроника - Учебники и пособия