Эллипсометрия. Теория. Методы. Приложения : Сб. науч. тр. /
Эллипсометрия. Теория. Методы. Приложения : Сб. науч. тр. /
АН СССР, Сиб. отд-ние, Ин-т физики полупроводников; Отв. ред.: К.К. Свиташев, А.С. Мардежов.
- Новосибирск : Наука. Сиб. отд-ние, 1991.
- 251 с. ил.
Библиогр. в конце ст.
5020299162
Эллипсометрия - Сборники
Библиогр. в конце ст.
5020299162
Эллипсометрия - Сборники