Осаждение пленок из низкотемпературной плазмы и ионных пучков /
Осипов, Кирилл Афанасьевич
Осаждение пленок из низкотемпературной плазмы и ионных пучков / К.А. Осипов, Г.Э. Фолманис ; АН СССР. ИМ. - Москва : Наука, 1973. - 87 с. : ил.
Библиогр. 116 назв.
Пленки тонкие - Получение
Осаждение пленок из низкотемпературной плазмы и ионных пучков / К.А. Осипов, Г.Э. Фолманис ; АН СССР. ИМ. - Москва : Наука, 1973. - 87 с. : ил.
Библиогр. 116 назв.
Пленки тонкие - Получение