Импульсный отжиг полупроводниковых материалов /
Импульсный отжиг полупроводниковых материалов /
А. В. Двуреченский, Г. А. Качурин, Е. В. Нидаев, Л. С. Смирнов ; [Отв. ред. А. В. Ржанов].
- Москва : Наука, 1982.
- 208 с. : ил ; 21 см.
В надзаг.: Акад. наук, Сиб. отд-ние, Ин-т физики полупроводников
Полупроводники - Легирование ионное
В надзаг.: Акад. наук, Сиб. отд-ние, Ин-т физики полупроводников
Полупроводники - Легирование ионное
All site content, except where otherwise noted, is licensed under a