Автоматизация производственных процессов в микроэлектронике : Сборник научных трудов /
Автоматизация производственных процессов в микроэлектронике : Сборник научных трудов /
Моск. ин-т электрон. техники; [Редкол.: И. Г. Блинов (гл. ред.) и др.].
- Москва : МИЭТ, 1982 (вып. дан. 1983).
- 140 с. : ил.
Библиогр. в конце ст.
Микроэлектронные схемы интегральные - Производство - Автоматизация Автоматизация - Микроэлектронные схемы интегральные - Производство
Библиогр. в конце ст.
Микроэлектронные схемы интегральные - Производство - Автоматизация Автоматизация - Микроэлектронные схемы интегральные - Производство